[发明专利]具有改进加料能力的制造多晶锭的系统有效
申请号: | 201010197294.3 | 申请日: | 2010-06-02 |
公开(公告)号: | CN101871124A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 王敬 | 申请(专利权)人: | 王敬 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B35/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 100084 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种制造多晶锭的系统,包括:上炉体;下炉体;坩埚,所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料;至少一个加热器,所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料;坩埚保持器,所述坩埚保持器用于保持所述坩埚;隔热部件;盖板,所述盖板用于在坩埚被加热时盖住坩埚的开口端;其中所述坩埚保持器和盖板之一上形成有至少两个导向件,所述盖板通过所述导向件相对于所述坩埚保持器沿着纵向可滑动。根据本发明的制造多晶锭的系统,可以将一次熔融的给料提高20-30%,提高了生产效率、降低了多晶锭的制造成本。 | ||
搜索关键词: | 具有 改进 加料 能力 制造 多晶 系统 | ||
【主权项】:
一种制造多晶锭的系统,包括:上炉体;下炉体,所述下炉体与所述上炉体相配合以形成炉体空间;坩埚,所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料;至少一个加热器,所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料;坩埚保持器,所述坩埚保持器用于保持所述坩埚;隔热部件,所述隔热部件容纳在所述炉体空间内,并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动,以控制所述坩埚内的多晶硅锭的定向凝固,盖板,所述盖板用于在坩埚被加热时盖住坩埚的开口端;其中所述坩埚保持器和盖板之一上形成有至少两个导向件,所述盖板通过所述导向件相对于所述坩埚保持器沿着纵向可滑动。
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