[发明专利]薄膜太阳能电池沉积用面馈入电极

摘要

本发明公开一种薄膜太阳能电池沉积用面馈入电极，属于太阳能电池技术领域。面馈入电极主要技术特点由腰部呈扁平状的信号馈入组件一半圆形端面接触信号馈入口，位于阴极板背平面中心区域内下凹圆形面内，馈入射频/甚高频功率电源信号，阳极板接地。阴极板屏蔽罩有通孔，阴极板与屏蔽罩之间绝缘。效果在于以电极板中心面馈入，克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗。以射频/甚高频功率电源驱动可获得均匀电场大面积稳定放电，有效的消除驻波和趋肤效应，使产率提高，成本降低。

主权项

薄膜太阳能电池沉积用面馈入电极，包括电极板组件和其上的信号馈入口，其特征在于电极板组件的阳极板接信号电源正极接地，电极板组件的馈入口位于阴极板背面的中心区域下凹的圆形面内，还包括面接触连接信号馈入口的馈入组件接射频/甚频功率电源负极；以面馈入射频/甚频功率电源信号；馈入组件的端面是半圆形；阴极板的屏蔽罩上开有通孔。