[发明专利]薄膜太阳能电池沉积夹具

摘要

本发明公开一种薄膜太阳能电池沉积夹具，属于太阳能电池技术领域。沉积夹具主要技术特点在于电极板组件具有屏蔽保护，由腰部呈扁平状的信号馈入组件一矩形端面面接触信号馈入口，位于阴极板背面中心区域内下凹矩形面内，馈入射频/甚高频功率电源信号，阳极板接地。阴极板屏蔽罩有通孔，阴极板与屏蔽罩之间绝缘。效果在于以电极板中心面馈入，克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗。以射频/甚高频功率电源驱动可获得均匀电场大面积稳定放电，有效的消除驻波和趋肤效应，使产率提高，成本降低。

主权项

一种薄膜太阳能电池沉积夹具，包括电极板组件、信号馈入组件及支撑框架，其特征在于带屏蔽罩的电极板组件安装在支撑框架内形成放电的夹具阵列，信号馈入组件的一端面接触连接电极板组件的馈入口，馈入射频/甚高频功率电源信号，该馈入口设置在带屏蔽罩电极板组件的阴极板背面中心区域内凹的矩形面上，所说的信号馈入组件是阶梯形条状的信号馈入带，它还包括腰部和信号馈入面是矩形的头部。