[发明专利]基板承载架和基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板承载架以及基板处理装置，该基板处理装置由分度器区和处理区组成，利用分度器机器人在分度器区和处理区之间搬运基板。分度器机器人包括在转动台上设置的上下的两个手部。一手部相对于另一手部沿铅垂方向移动。一手部和另一手部的高度差能够调整得与运载器的基板容置槽之间的间隔相同，该运载器容置有被搬入到分度器区内的基板。一手部和另一手部的高度差能够调整得与设置在分度器区和处理区之间的基板承载部的支承板之间的间隔相同。

主权项

一种基板承载架，其用于在第一基板搬运装置和第二基板搬运装置之间交接基板，其中该第一基板搬运装置具有相互上下设置的第一及第二基板保持部，该第二基板搬运装置具有相互上下设置的第三及第四基板保持部，其特征在于，包括：多层的容置架，其分别对基板进行支承，并使基板为水平姿势；调整机构，其用于调整容置架之间的高度差；在上述基板承载架与上述第一基板搬运装置之间交接基板时，上述调整机构将上述容置架之间的高度差调整为上述第一及第二基板保持部之间的高度差，在上述基板承载架与上述第二基板搬运装置之间交接基板时，上述调整机构将上述容置架之间的高度差调整为上述第三及第四基板保持部之间的高度差。