[发明专利]石英舟自动上下片装置

摘要

本发明提出了一种石英舟自动上下片装置，所述装置包括承载盒运输台、石英舟上下片台、吸片机构、中央控制单元，其中，承载盒运输台包括传送带以及取料定位汽缸，石英舟上下片台包括导轨和滑车，吸片机构设置在所述承载盒运输台与石英舟上下片台中部的正上方，其包括吸盘支架以及集成吸盘，所述吸盘支架通过升降电机能够上下移动，所述集成吸盘与平移电机相连，通过操作所述平移电机能够使集成吸盘水平移动；中央控制单元包括触摸屏、PLC控制器，用于控制所述传送带、各升降电机、平移电机、滑车移动电机的协同作业流程。本发明的石英舟自动上下片装置，能够极大地提高产品质量、降低硅片碎片率，使得生产效率及质量都得到明显的提升。

主权项

一种石英舟自动上、下片的装置，其特征在于，所述装置包括承载盒运输台、石英舟上下片台、吸片机构、中央控制单元，其中：承载盒运输台固定在操作台面上，其具有输送硅片承载盒的传送带，在传送带中部的一侧分别设置有取料定位汽缸，所述取料定位汽缸用于在承载盒被输送到承载盒运输台中部的取料位置时将承载盒固定在该取料位置上以便吸片机构能够吸取硅片；石英舟上下片台紧邻承载盒运输台固定，其包括导轨和设置在该导轨上的用于安置石英舟的滑车，所述滑车由滑车电机驱动，能够沿所述导轨前后移动并能精确定位在石英舟上下片台的装框位置处，连接所述装框位置与所述取料位置的直线垂直于所述传送带的传送方向；吸片机构设置在承载盒运输台与石英舟上下片台上方，其包括固定在操作台面上的固定框架、吸盘支架以及安装在所述吸盘支架上用于吸取硅片的集成吸盘；所述吸盘支架通过升降电机能够上下移动，从而将安装于其上的集成吸盘移至能够从承载盒中吸取硅片或者能够将吸附的硅片放置在石英舟中的高度上；所述集成吸盘能够通过与其相连接的平移电机而进行水平移动，从而能够使集成吸盘在承载盒运输台与石英舟上下片台之间横向移动；中央控制单元包括触摸屏、PLC控制器，其中PLC控制器构造为控制所述传送带、升降电机、平移电机、滑车移动电机的运行。