[发明专利]用于硅基器件的凸微观部件有效
| 申请号： | 201010206225.4 | 申请日： | 2001-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN101867858A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·佩德森;彼得·V·勒佩特;李承复 | 申请（专利权）人： | 诺利斯电子公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙纪泉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声换能器，包括：包括其中具有多个穿孔的平面表面的覆盖件；以可操作方式与所述穿孔部件相连的基片；位于所述覆盖件和所述基片之间的隔膜，所述隔膜能够在与所述覆盖件的所述表面平行的平面上横向移动；其中所述覆盖件包括在所述覆盖件和所述基片之间的连接周边，其形成图案以降低所述覆盖件对固有内在弯曲力矩的灵敏度。本发明还公开了一种用于硅基器件上的凸微观结构。凸微观结构包括用以支持薄膜的肋状侧壁的通常呈平面的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 器件 微观 部件 | ||
【主权项】：
一种用于硅基器件的凸微观部件(110)，凸微观部件(110)包括：通常呈平面的薄膜(112)；支持薄膜(112)的侧壁(114)；所述凸微观部件(110)上的侧壁(114)在其基底(118)处连接到硅基片(116)上；其中侧壁(114)呈肋状并且形成多个脊和凹槽。
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