[发明专利]f-theta光学镜头有效
申请号: | 201010207744.2 | 申请日: | 2010-06-22 |
公开(公告)号: | CN101881875A | 公开(公告)日: | 2010-11-10 |
发明(设计)人: | 李家英;周朝明;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B13/18 | 分类号: | G02B13/18;G02B13/14 |
代理公司: | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 44248 | 代理人: | 胡吉科 |
地址: | 518057 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种f-theta光学镜头,其包括沿入射光线传输方向设置的第一透镜,第二透镜,以及第三透镜,其中所述的第一透镜为双凹型透镜,第二透镜为弯月型透镜,且曲面均向着光线入射方向弯曲,第三透镜为双凸型透镜,该镜头的焦距为160mm,入瞳直径为12mm,入射光波长为355nm,视场角为ω,其中2ω=50°,加工面积为100*100mm2。本发明的f-theta光学镜头整体结构非常紧凑,加工聚焦光斑小、能量更加集中,可在某些要求加工出来的效果超精细的特殊材料上进行打标或刻划,使平象场要求得到满足,所有像差的校正都几乎达到了理想分辨率。 | ||
搜索关键词: | theta 光学 镜头 | ||
【主权项】:
一种f-theta光学镜头,其特征在于:其包括沿入射光线传输方向设置的第一透镜,第二透镜,以及第三透镜,其中所述的第一透镜为双凹型透镜,第二透镜为弯月型透镜,且曲面均向着光线入射方向弯曲,第三透镜为双凸型透镜,该镜头的焦距为160mm,入瞳直径为12mm,入射光波长为355nm,视场角为ω,其中2ω=50°,加工面积为100*100mm2。
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