[发明专利]f-theta光学镜头有效

专利信息
申请号: 201010207744.2 申请日: 2010-06-22
公开(公告)号: CN101881875A 公开(公告)日: 2010-11-10
发明(设计)人: 李家英;周朝明;高云峰 申请(专利权)人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
主分类号: G02B13/18 分类号: G02B13/18;G02B13/14
代理公司: 深圳市科吉华烽知识产权事务所 44248 代理人: 胡吉科
地址: 518057 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种f-theta光学镜头,其包括沿入射光线传输方向设置的第一透镜,第二透镜,以及第三透镜,其中所述的第一透镜为双凹型透镜,第二透镜为弯月型透镜,且曲面均向着光线入射方向弯曲,第三透镜为双凸型透镜,该镜头的焦距为160mm,入瞳直径为12mm,入射光波长为355nm,视场角为ω,其中2ω=50°,加工面积为100*100mm2。本发明的f-theta光学镜头整体结构非常紧凑,加工聚焦光斑小、能量更加集中,可在某些要求加工出来的效果超精细的特殊材料上进行打标或刻划,使平象场要求得到满足,所有像差的校正都几乎达到了理想分辨率。
搜索关键词: theta 光学 镜头
【主权项】:
一种f-theta光学镜头,其特征在于:其包括沿入射光线传输方向设置的第一透镜,第二透镜,以及第三透镜,其中所述的第一透镜为双凹型透镜,第二透镜为弯月型透镜,且曲面均向着光线入射方向弯曲,第三透镜为双凸型透镜,该镜头的焦距为160mm,入瞳直径为12mm,入射光波长为355nm,视场角为ω,其中2ω=50°,加工面积为100*100mm2。
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