[发明专利]铝氧化铝双层膜电热微驱动器无效
| 申请号： | 201010209974.2 | 申请日： | 2010-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101885464A | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 汪红;毛胜平;吴义伯;丁桂甫;刘启发;苏永其 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;F03G7/06 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微机电系统技术领域的铝氧化铝双层膜电热微驱动器，包括：基底、下置空腔、基座、电极、下置电阻丝、铝翘曲功能层和氧化铝牵制层，其中：铝翘曲功能层的末端与基座相连，另一端悬空，氧化铝牵制层位于铝翘曲功能层上方且两者紧密结合形成双层膜结构，基座固定设置于基底上，电极与下置电阻丝相连，下置电阻丝位于下置空腔上方并与基底悬空，所述的下置空腔为基底上刻蚀制成的矩形结构。本发明利用下置的条状排布的镍电阻丝作为发热源，利用阳极氧化形成的铝氧化铝双层膜结构作为驱动主体，以充分发挥电热微驱动器驱动位移大、能量密度高、工艺兼容性好的优势，扩大电热微驱动器在微机电系统技术领域的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝 双层 电热 驱动器 | ||
【主权项】：
一种铝氧化铝双层膜电热微驱动器，包括：基底、下置空腔、基座、电极、下置电阻丝、铝翘曲功能层和氧化铝牵制层，其特征在于：铝翘曲功能层的末端与基座相连，另一端悬空，氧化铝牵制层位于铝翘曲功能层上方且两者紧密结合形成双层膜结构，基座固定设置于基底上，电极与下置电阻丝相连，下置电阻丝位于下置空腔上方并与基底悬空，所述的下置空腔为基底上刻蚀制成的矩形结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010209974.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：活性物质结合物用于防治动物寄生物的用途
- 下一篇：一种电力维护直升机
