[发明专利]晶圆凸点检测装置

摘要

本发明公开了一种晶圆凸点检测装置，包括大理石平台、设置在大理石平台之上的XY移动机构、安装在XY移动机构之上的视觉检测机构、图像放大显示单元和读数显示单元，其中大理石平台为基准平台，其上表面具有研磨级的精度，被测晶圆在基准平台上顺滑地移动，而不会划伤被测晶圆的表面；XY移动机构包括进行粗调的直线导轨和进行微调的精密直线移动单元；视觉检测机构包括摄像头和照明单元，摄像头的镜头具有手动调焦功能。根据本发明，可在显示器上直观地观察晶圆存在的缺陷，而用光栅尺直接显示读数，则可更准确、更迅速地读出正确数值，大大提高检测效率和质量，而且与现有产品相比，本发明的晶圆凸点检测装置结构简单、操作简便、维护和调试方便。

主权项

一种晶圆凸点检测装置，其特征在于，包括大理石平台、设置在大理石平台之上的XY移动机构、安装在XY移动机构之上的视觉检测机构、图像放大显示单元和读数显示单元，其中，所述大理石平台为基准平台，被测晶圆在基准平台上顺滑地移动；所述XY移动机构设置在大理石平台上，所述XY移动机构安装有光栅尺；所述视觉检测机构，其安装在XY移动机构上并沿X方向和Y方向移动，所述视觉检测机构包括具有镜头的摄像头，通过所述XY移动机构移动摄像头，将摄像头的镜头对准被测晶圆的检测凸点；所述读数显示单元为光栅尺的读数显示表。