[发明专利]基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计

摘要

本发明涉及基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计，包括光学谐振腔、悬臂梁、基底、质量块、输入光栅、输出光栅、输入光波导和输出光波导；所述悬臂梁的一端与基底相连，另一端与质量块连接，悬臂梁用刻蚀形成，光学谐振腔被刻蚀在悬臂梁的上表面，光学谐振腔为平面跑道形的形状；其特点是该光学谐振腔微加速度计由上而下有三层结构，光学谐振腔是集成输入输出端的，光学输入口与输出口通过光栅结构与光学谐振腔集成一体；输入光波导与输出光波导与光学谐振腔成也为一体；本发明是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境中的振动，冲击等加速度的测量。

主权项

一种基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计，包括光学谐振腔(1)、悬臂梁(2)、基底(3)、质量块(4)、输入光栅(5)、输出光栅(6)、输入光波导(7)、输出光波导(8)；所述悬臂梁的一端与基底相连，另一端与质量块连接，悬臂梁用刻蚀形成，所述光学谐振腔被刻蚀在悬臂梁的上表面，所述光学谐振腔为平面跑道形的形状；其特征在于：所述光学输入口是通过输入光栅连接输入光波导，并与谐振腔集成为一体；所述光学输出口是通过输出光栅连接输出光波导，并与谐振腔集成为一体；该光学谐振腔微加速度计由上而下有三层结构，其中：第一层结构是所述光学谐振腔、输入光波导和输出光波导、输入光栅和输出光栅，均利用光刻法刻蚀在光学谐振腔两侧，并且利用电子束刻蚀方式以光栅作为传输光的结构；第二层结构是所述悬臂梁，所述悬臂梁几何形状为长而薄的长方体，采用半导体材料，悬臂梁是由正面刻蚀和反面深刻蚀技术形成的；第三层结构为基底，所述基底几何形状为长方体，采用半导体材料。