[发明专利]一种流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法有效
申请号: | 201010210525.X | 申请日: | 2010-06-25 |
公开(公告)号: | CN102299254A | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 陈文革;何超;刘明会 | 申请(专利权)人: | 西安三瑞科技有限公司 |
主分类号: | H01L41/22 | 分类号: | H01L41/22;C04B35/472;C04B35/491;C04B35/495 |
代理公司: | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人: | 佘文英 |
地址: | 710075 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其基本步骤如下:1.制粉。2.制备流延浆料。3.流延成型。4.排胶烧结。5.极化。即成为压电复合材料。本发明工艺简单,成本低廉,适于大量连续生产,可用于生产厚度在微米量级、结构均匀、性能优异的压电复合材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 法制 尺寸 压电 复合材料 方法 | ||
【主权项】:
一种流延法制备大尺寸厚膜压电复合材料的方法,其特征是制备方法包括以下步骤:(1)制粉:将市场销售的颗粒尺寸大于3μm的压电陶瓷粉在球磨机中以700转/分的转速下加酒精100毫升/公斤湿法球磨24~48h,烘干得到平均颗粒尺寸1~3μm的压电陶瓷粉;(2)制备流延浆料:称取步骤1中的压电陶瓷粉,然后与聚合物混合后加入流延胶,转速300~500转/分下球磨12~24小时分散均匀,最后在真空度为‑0.95Mpa的真空密封罐中进行真空除泡20~30分钟,制得流延浆料;(3)流延成型:用流延机对流延浆料进行流延,控制刮刀高度在50μm~1mm,在15~35℃温度范围内自然干燥3~5小时即可从基板上剥离出坯膜;(4)排胶烧结:烘箱中150~180℃下排胶,升温速度1~3℃/min,保温1~2小时,然后在180~200℃下烧结1~2小时;(5)极化:在膜的上下两表面上刷导电银浆,在150℃下保温1h被银电极,硅油浴极化,极化温度为100~130℃,极化场强为5~10kV/mm,极化时间为20~90min,即成为压电复合材料。
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