[发明专利]电荷粒子分选装置以及电荷粒子照射装置无效
| 申请号： | 201010211047.4 | 申请日： | 2010-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN101937825A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 成岛正树;森晃一;山田公;丰田纪章 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;兵库县 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;B07C5/34 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷;南霆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明要解决的问题是提供可使离子化的气体团簇适当地发生偏转的电荷粒子分选装置以及电荷粒子照射装置。本发明通过提供下述用于分选离子化的气体团簇的电荷粒子分选装置来解决上述问题。该电荷粒子分选装置包括：电场施加部，所述电场施加部沿所述气体团簇的前进方向排列，用于施加电场；以及狭缝，用于分选所述气体团簇；所述电场施加部由两片电极构成，通过向所述电极施加交流电压来使离子化的气体团簇发生偏转，其中所述电极具有开口部或间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 粒子 分选 装置 以及 照射 | ||
【主权项】：
一种电荷粒子分选装置，用于分选离子化的气体团簇，其特征在于，包括：电场施加部，所述电场施加部沿所述气体团簇的前进方向排列，用于施加电场；以及狭缝，用于分选所述气体团簇，所述电场施加部由两片电极构成，通过向所述电极施加交流电压来使离子化的气体团簇发生偏转，其中，所述电极具有开口部或间隙。
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