[发明专利]镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜装置

摘要

本发明涉及一种镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜装置。该镀膜修正板包括具有第一表面的板体、多个石英晶体微量天平、多条信号信号线、第一补偿板、第二补偿板、驱动装置及处理控制模块。每个石英晶体微量天平自该第一表面嵌设于该板体内，用于感测镀层重量，并将该镀层重量转化为振荡信号。每条信号线与一个石英晶体微量天平及该处理控制模块相连。该处理控制模块用于根据每个振荡信号计算该镀层重量值，并根据该计算结果控制该驱动装置运作。该驱动装置用于驱动该第一补偿板及/或第二补偿板运动至与该板体接触来补偿该第一表面的面积，直至所有石英晶体微量天平感测的镀层重量值相等。使用该镀膜修正板可减少镀膜仓污染。

主权项

一种镀膜修正板，包括板体，该板体具有第一表面，其特征是，该镀膜修正板还包括多个石英晶体微量天平、多条信号线、第一补偿板、第二补偿板、驱动装置及处理控制模块，每个石英晶体微量天平自该第一表面嵌设于该板体内，用于感测镀层重量，并将该镀层重量转化为振荡信号，每条信号线与一石英晶体微量天平及该处理控制模块相连，用于将该振荡信号传输至该处理控制模块，该处理控制模块用于根据每个振荡信号计算该镀层重量值，并根据该计算结果控制该驱动装置运作，该驱动装置用于于该处理控制模块的控制下驱动该第一补偿板及/或第二补偿板运动至与该板体接触来补偿该第一表面的面积，直至所有石英晶体微量天平感测的镀层重量值相等。