[发明专利]一种多晶硅坩埚涂层制备用浆料以及配置方法有效

专利信息
申请号: 201010214039.5 申请日: 2010-06-30
公开(公告)号: CN101892517A 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 胡动力;尚召华;何亮;陈红荣 申请(专利权)人: 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 江西省专利事务所 36100 代理人: 杨志宇
地址: 338000 江西省新余*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明涉及一种半导体或光伏领域的多晶硅坩埚涂层制备用浆料,还涉及了该浆料的配置方法;一种多晶硅坩埚涂层制备用浆料,包括氮化硅粉体,溶剂,其特征在于:氮化硅粉体经过氧化剂处理后得到表面覆有包裹型的氧化硅的氮化硅粉体。本发明提供的多晶硅坩埚涂层制备用浆料施涂在坩埚上经过烘烤后,氧化硅会与氮化硅形成强度较高的结合层,从而得到抗剥落性能好的坩埚涂层;同时本发明提供多晶硅坩埚涂层制备用浆料中的氧化剂不会产生团聚现象,它能够均匀的包覆在氮化硅颗粒的表面,氧含量低,不会影响硅锭质量。
搜索关键词: 一种 多晶 坩埚 涂层 制备 浆料 以及 配置 方法
【主权项】:
一种多晶硅坩埚涂层制备用浆料,包括氮化硅粉体,溶剂,其特征在于:氮化硅粉体经过氧化剂处理后得到表面覆有包裹型的氧化硅的氮化硅粉体。
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