[发明专利]筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧无效
| 申请号： | 201010215852.4 | 申请日： | 2010-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101892458A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 文宏福 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 韶关市雷门专利事务所 44226 | 代理人： | 周胜明 |
| 地址： | 512000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧，在金属背管外表面均匀镶嵌有片式或其它形状的导电导热的弹簧，在单节旋转靶材材料内表面涂覆金属涂层，再将一个或多个内壁涂覆金属涂层的单节旋转靶材材料套在金属背管外壁，并调整单节旋转靶材材料与金属背管以及相邻单节旋转靶材材料之间的位置，对金属背管进行加热处理，使单节旋转靶材材料内壁金属涂层局部熔化，从而能够紧密地贴附在镶嵌于金属背管的弹簧片表面，停止加热并自然冷却，获得旋转靶材。在靶材材料和背管之间充填可导电导热的弹簧片实现金属背管与单节靶材的帮定，具有工艺简单、连接牢固和导电导热性能优良的优点，同时制作成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 靶材帮定 材料 导电 导热 弹簧 | ||
【主权项】：
一种筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧，其特征是：在金属背管外表面均匀镶嵌有片式或其它形状的导电导热的弹簧，在单节旋转靶材材料内表面涂覆金属涂层，再将一个或多个内壁涂覆金属涂层的单节旋转靶材材料套在金属背管外壁，并调整单节旋转靶材材料与金属背管以及相邻单节旋转靶材材料之间的位置，对金属背管进行加热处理，使单节旋转靶材材料内壁金属涂层局部熔化，从而能够紧密地贴附在镶嵌于金属背管的弹簧片表面，停止加热并自然冷却，获得旋转靶材。
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