[发明专利]探针接触电阻在线测量方法

摘要

本发明提出一种探针接触电阻在线测量方法，包括以下步骤：探针卡连接被测芯片和测试机，探针卡上的测量探针直接与被测芯片上的焊盘相连，焊盘上连接第一电线和第二电线；增加一测试探针，测试探针和第一电线相连；在第二电线上施加电压，并测得第二电线上的电流值；测述第一电线端的电压值，即为测试探针上的电压值；将第二电线上施加的电压值与测试探针上的电压值之差除以第二电线上的电流值，获得测量探针上的电阻；根据电阻计算被测芯片的焊盘上的电压修正值；在被测芯片的焊盘上施加经修正后的电压。本发明提供的测量方法能够实时的测量探针上的电阻从而提供修正后的电压，减少了因探针电阻发生变化而导致测量误差，提高了测量的精度。

主权项

一种探针接触电阻在线测量方法，包括以下步骤：探针卡连接被测芯片和测试机，所述探针卡上的测量探针直接与所述被测芯片上的焊盘相连，所述焊盘上连接第一电线和第二电线，所述第一电线为高阻线，所述第二电线为低阻线，所述测量探针和所述第二电线相连；其特征在于：所述测量方法还包括：增加一测试探针，所述测试探针和所述第一电线相连；在所述第二电线上施加电压，并测得所述第二电线上的电流值；测量所述第一电线端的电压值，即为所述测试探针上的电压值；将所述第二电线上施加的电压值与所述测试探针上的电压值之差除以所述第二电线上的电流值，获得所述测量探针上的电阻；根据所述电阻计算所述被测芯片的焊盘上的电压修正值；在所述被测芯片的焊盘上施加经修正后的电压。