[发明专利]有机发光显示装置和薄膜沉积设备

摘要

本发明提供一种有机发光显示装置和薄膜沉积设备。一种薄膜沉积设备和一种利用该薄膜沉积设备制造的有机发光显示装置，该薄膜沉积设备可以用于大规模制造大基底，并改善制造良率。该有机发光显示装置包括：基底，包括彼此平行地布置的多个子沉积区域；至少一个薄膜晶体管，形成在基底上，所述至少一个薄膜晶体管包括半导体有源层、与半导体有源层绝缘的栅电极、接触半导体有源层的源电极和漏电极；多个像素电极，形成在薄膜晶体管上；多个有机层，形成在每个像素电极上；相对电极，形成在有机层上，其中，所述多个有机层位于每个子沉积区域中，并且所述多个有机层距对应的沉积区域的中心的距离越远具有的阴影区域越大。

主权项

一种有机发光显示装置，包括：基底，包括彼此平行地布置的多个沉积区域；至少一个薄膜晶体管，形成在基底上，所述至少一个薄膜晶体管包括半导体有源层、与半导体有源层绝缘的栅电极、接触半导体有源层的源电极和漏电极；多个像素电极，形成在薄膜晶体管上；多个有机层，形成在每个像素电极上；相对电极，形成在有机层上，其中，设置在基底的每个沉积区域中的所述多个有机层具有阴影区域，所述阴影区域距对应的沉积区域的中心的距离越远，所述阴影区域越大。