[发明专利]发光二极管磊晶结构及其制造方法有效
申请号: | 201010217575.0 | 申请日: | 2010-07-05 |
公开(公告)号: | CN102315347A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 黄世晟;凃博闵;杨顺贵;黄嘉宏 | 申请(专利权)人: | 展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/00;H01L33/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种发光二极管磊晶结构,包括一硅基板及一半导体结构层,该硅基板上形成有一图案化的介质层及阻隔层,该半导体结构层与基板之间形成有多个分离的孔隙。本发明的磊晶结构由于在半导体结构层与基板之间形成有多个孔隙,二者之间由于热膨胀系数差异而导致残留的应力可被有效地缓解,从而确保磊晶结构的良品率。本发明还提供有一种制造磊晶结构的方法。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管磊晶结构,包括一硅基板及一半导体结构层,其特征在于:该硅基板上形成有一图案化的介质层及阻隔层,半导体结构层与基板之间形成有多个分离的孔隙。
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