[发明专利]一种载板加热装置及应用该装置的等离子体处理设备无效
| 申请号： | 201010218317.4 | 申请日： | 2010-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN102300342A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 蒲春 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种载板加热装置，用于在等离子体工艺腔室中加热载板。所述载板加热装置包括具有多个加热分区的第一加热器，以及设置在所述第一加热器附近的补偿加热器，所述补偿加热器具有针对第一加热器上各加热分区的交界处进行补偿加热的补偿加热分区。本发明提供的载板加热装置能够有效提高对载板加热的均匀性，并且无需返工即可对载板加热装置的加热分区进行调节，具有调整效率高、节约成本等的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 装置 应用 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种载板加热装置，所述载板加热装置包括具有多个加热分区的第一加热器，其特征在于，在所述第一加热器的附近设置有补偿加热器，所述补偿加热器具有针对第一加热器上加热分区的交界处进行补偿加热的补偿加热分区。
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