[发明专利]一种太阳能电池片的减反射膜及其制备方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池片的减反射膜及其制备方法，减反射膜的成分主要为SiNx:H，减反射膜中距离减反射膜所依附的硅片表面为T处的SiNx:H中的X满足如下关系：X＝a-1.589×10-2T+3.728×10-4T2-4.072×10-6T3+1.535×10-8T4；其中，a为减反射膜与硅片接触的底面中的氮硅比，1.00≤a≤2.0。本发明的减反射膜不仅显著提高了太阳能电池的光电转换效率，而且最大输出功率、开路电压、短路电流及填充因子等电化学性能也得到明显提高，使用寿命也明显增强。且本发明的方法可以在一个设备中一次实现，节约成本，产能高，且工艺简单易实现，具有较高的经济效益。

主权项

一种太阳能电池片的减反射膜，其特征在于，所述减反射膜的成分主要为SiNx:H，减反射膜中距离减反射膜所依附的硅片表面为T处的SiNx:H中的X满足如下关系：X＝a‑1.589×10‑2T+3.728×10‑4T2‑4.072×10‑6T3+1.535×10‑8T4；其中，a为减反射膜与硅片接触的底面中的氮硅比，1.00≤a≤2.0。