[发明专利]溅镀含高蒸气压材料的镀膜的方法与装置无效
| 申请号： | 201010221980.X | 申请日： | 2010-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN102312204A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 黄昆平 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种溅镀含高蒸气压材料的镀膜的方法与装置，其中的装置包括一腔体、安装在腔体内的一溅镀枪、设置于溅镀枪上的一复合靶材以及一基材承载台。所述复合靶材包括一主靶材以及数个小锭，这些小锭的材料是高蒸气压材料，其是指在1000℃的蒸气压大于1×10-9torr的材料。而基材承载台是相对上述复合靶材安装在腔体内。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀含高 蒸气 材料 镀膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀含高蒸气压材料的镀膜的装置，其特征在于：所述装置至少包括：腔体；溅镀枪，安装在该腔体内；复合靶材，设置于该溅镀枪上，其中该复合靶材包括一主靶材以及多数个小锭，该些小锭的材料是高蒸气压材料，其中该高蒸气压材料是在1000℃的蒸气压大于1×10‑9torr的材料；以及基材承载台，相对该复合靶材安装在该腔体内。
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