[发明专利]纳米改性高效率低成本多晶硅太阳能电池制备工艺

摘要

本发明公开了一种纳米改性高效率低成本多晶硅太阳能电池制备工艺，包括选择多晶硅片、用制绒液制绒处理、扩散、电极印刷，选择多晶硅片时，选用体寿命大于等于40μs的P型多晶硅片；用制绒液制绒处理时，采用HF与HNO3的混合溶液，HF与HNO3的混合溶液中含有含氮无机盐和分散剂；在扩散后、电极印刷前还采用纳米改性工艺进行表面微区修饰清洗，即以含有有机碱和浸润剂的碱性水溶液处理扩散后的多晶硅片，以去除多晶硅片表面的微缺陷和有害杂质；电极印刷时，采用丝网印刷工艺进行背极和正极的印刷、烧结。本发明得到理想的低反射率均匀绒面，可有效提高光吸收效率。

主权项

一种纳米改性高效率低成本多晶硅太阳能电池制备工艺，包括选择多晶硅片、用制绒液制绒处理、扩散、电极印刷，其特征是：选择多晶硅片时，选用体寿命大于等于40μs的P型多晶硅片，多晶硅片电阻率范围为0.5～3Ω·cm，厚度为140～200μm；用制绒液制绒处理时，采用HF与HNO3的混合溶液，HF与HNO3的混合溶液中含有重量百分比为0.05～0.1％的含氮无机盐和重量百分比小于等于0.1％的分散剂，制绒液中HF与HNO3的体积比为1∶2～1∶6；在扩散后、电极印刷前还采用纳米改性工艺进行表面微区修饰清洗，即以含有有机碱和浸润剂的碱性水溶液处理扩散后的多晶硅片，以去除多晶硅片表面的微缺陷和有害杂质；电极印刷时，采用丝网印刷工艺进行背极和正极的印刷、烧结。