[发明专利]一种NiTiO3薄膜的制备方法

摘要

一种NiTiO3薄膜的制备方法，将六水硝酸镍加入乙醇得溶液记为A；向A溶液中加入钛酸四丁酯、草酸、水和乙酰丙酮得溶液记为B，将经过活化处理的硅基板放入B溶液中；将B溶液放入紫外光一微波仪中照射一定时间后取出硅基片，将硅基片用丙酮清洗后放入干燥箱中干燥，即得到了不含杂质的NiTiO3薄膜。本发明利用草酸为螯合剂在较低温度下制备出了不含杂质的NiTiO3薄膜。制得的NiTiO3薄膜晶粒尺寸较小，并且不含任何杂质，制备NiTiO3薄膜反应周期短，重复性好，制备简单，操作方便，原料易得，制备成本较低。

主权项

一种NiTiO3薄膜的制备方法，其特征在于：步骤一：首先，将分析纯的六水合硝酸镍加入无水乙醇中，并不断搅拌，配制成Ni2+浓度为0.3mol/L～0.6mol/L的透明溶液记为A；步骤二：其次，向A溶液中加入分析纯的钛酸四丁酯，使得Ni2+与Ti4+的摩尔比为1∶1，并不断搅拌得混合溶液，然后再向混合溶液中加入草酸，使草酸与所有阳离子的摩尔比为(0.5～2)∶1，最后再加入无水乙醇体积4～8倍的水和9～17倍的乙酰丙酮，搅拌均匀后静置形成溶液记为B；步骤三：最后，将经双氧水和硝酸活化处理后的硅基片放入上述溶液B中；将B溶液放在紫外光-微波仪中照射12h～72h后取出硅基片，再将硅基片用丙酮清洗后放入干燥箱中，在80℃～120℃下干燥8h～12h，即得到最终产物-不含杂质的NiTiO3薄膜。