[发明专利]一种基于偏振相移显微干涉术的超精表面测量系统

摘要

本发明的一种基于偏振相移显微干涉术的测量系统，属于光学精密测量技术领域。该系统该系统包括光源(1)、准直镜(2)、线偏振器(3)、消偏振分光棱镜(4)、显微镜(5)、偏振分光棱镜(6)、参考平面镜(8)、1/4波片(9)、检偏器(10)、成像设备(11)和数据处理系统(12)，结合了偏振相移技术与Michelson干涉显微术，克服了普通相移显微干涉系统中的PZT移相方法存在的一系列问题，具有结构简单、移相简单且精确、测量精度高、测量速度快等特点。

主权项

一种偏振相移显微干涉系统，用于实现超精密表面轮廓和结构的测量，该系统包括光源(1)、准直镜(2)、线偏振器(3)、消偏振分光棱镜(4)、显微镜(5)、偏振分光棱镜(6)、参考平面镜(8)、1/4波片(9)、检偏器(10)、成像设备(11)和数据处理系统(12)，从光源(1)发出的单色光穿过准直镜(2)和线偏振器(3)成为线偏振准直光，被消偏振分光棱镜(4)反射进入显微镜(5)，出射后被偏振分光棱镜(6)垂直分成沿X轴方向的s分量和沿Y轴方向的p分量，所述s分量入射到参考平面镜(8)后反射回来作为参考光，所述p分量透射通过偏振分光棱镜(6)后，入射到被测表面(7)，记录下被测表面7的高度信息后反射回来作为测量光；所述参考光和测量光在所述该偏振分光棱镜(6)的分光平面处汇合，再一同穿过1/4波片(9)以及检偏器(10)后发生偏振相移干涉，所述成像设备(11)探测得到干涉图，输入数据处理系统(12)进行处理后即得到被测表面微观轮廓和结构。