[发明专利]盘状物固定装置有效
申请号: | 201010231111.5 | 申请日: | 2010-07-14 |
公开(公告)号: | CN102097352A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 张豹;吴仪;张晓红;韩丽娜 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100016 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种盘状物固定装置,包括卡盘主体及与其连接并带动盘状物转动的转动轴;通过轴承安装在卡盘主体上,并可与卡盘主体同轴转动的凸轮;连接于凸轮与卡盘主体之间,使得凸轮能够相对于卡盘主体转动的至少一个拉伸弹簧;设置于卡盘主体边缘的至少三个夹持元件;至少三个压缩弹簧,其一端与卡盘主体连接,另一端设置于夹持元件朝向凸轮的一端,通过其弹性力将夹持元件朝向凸轮的一端顶在凸轮上,并且夹持元件的与凸轮的接触端沿夹持元件与凸轮的接触面滑动,使夹持元件卡紧盘状物。本发明公开的盘状物固定装置结构简单、容易实现,不会对盘状物造成弯矩以及与夹持元件产生相对运动从而破坏盘状物,且不限制机械手夹持该盘状物的方式。 | ||
搜索关键词: | 盘状物 固定 装置 | ||
【主权项】:
一种盘状物固定装置,其特征在于,包括:卡盘主体;转动轴,其与所述卡盘主体连接,并带动所述卡盘主体绕其转动;凸轮,其通过轴承安装在所述卡盘主体上,并围绕所述转动轴转动;至少一个拉伸弹簧,其连接于所述凸轮与所述卡盘主体之间,使得所述凸轮能够相对于所述卡盘主体转动;至少三个夹持元件,其设置于所述卡盘主体边缘;以及至少三个压缩弹簧,其一端与所述卡盘主体接触,另一端设置于所述夹持元件朝向所述凸轮的一端,通过其弹性力将所述夹持元件朝向所述凸轮的一端顶在所述凸轮上,并且所述夹持元件的与所述凸轮的接触端沿所述夹持元件与所述凸轮的接触面滑动,从而使所述夹持元件卡紧所述盘状物。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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