[发明专利]固态成像器件、其制造方法和相机

摘要

在此公开了固态成像器件、其制造方法和相机。所述固态成像器件包括：光电二极管，对于在半导体衬底的光感测表面上排列的各像素形成；信号读取单元，形成在半导体衬底上以读取信号电荷和电压；绝缘膜，形成在半导体衬底上，并且其包括光波导管；滤色器，形成在绝缘膜上；以及片上透镜，形成在滤色器上。在水平和垂直方向二者上交替地排列第一和第二像素组合，第一像素组合具有这样的布局：在水平和垂直方向二者上排列两个绿像素且排列总共四个像素；第二像素组合具有这样的布局：在水平和垂直方向上排列两个像素，排列总共四个像素，且对角线地排列两个红像素和两个蓝像素。

主权项

一种固态成像器件，包括：光电二极管，对于在半导体衬底的光感测表面上以矩阵形状排列的每一个像素分离地形成所述光电二极管；信号读取单元，其形成在半导体衬底上，并读取在光电二极管中产生并充电的信号电荷或者根据该信号电荷的电压；绝缘膜，其形成在半导体衬底上以便覆盖光电二极管，并且包括光波导管；滤色器，其形成在绝缘膜上；以及片上透镜，其形成在滤色器上，其中在布局中，在水平和垂直方向二者上交替地排列第一像素组合和第二像素组合，所述第一像素组合具有这样的布局：在水平和垂直方向二者上排列两个绿像素且在配备绿滤色器作为其滤色器的同时排列总共四个像素；所述第二像素组合具有这样的布局：在水平和垂直方向二者上排列两个像素，排列总共四个像素，且对角线地排列具有红滤色器的两个红像素和具有蓝滤色器的两个蓝像素。