[发明专利]真空移动装置及方法有效
| 申请号： | 201010234547.X | 申请日： | 2010-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN102337509A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈炯 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/00;C23C16/54;C23C16/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;朱水平 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空移动装置，用于在一真空腔中移动一移动对象，其包括至少一个设于该真空腔中的两端封闭的波纹管，每个波纹管的一端均固设于该真空腔中、另一端则均与该移动对象相连，每个波纹管中均充有介质、且均通过管道与该真空腔外的一介质源连通，该介质源通过独立地控制每个波纹管中的介质压强使各个波纹管进行伸缩。本发明还公开了一种利用上述真空移动装置实现的真空移动方法。本发明设计简单、实用可靠，能够极大地降低真空移动装置的设计难度以及实现成本，并且还有利于实现该移动对象的更加灵活复杂的移动方式。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 移动 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种真空移动装置，用于在一真空腔中移动一移动对象，其特征在于，其包括至少一个设于该真空腔中的两端封闭的波纹管，每个波纹管的一端均固设于该真空腔中、另一端则均与该移动对象相连，每个波纹管中均充有介质、且均通过管道与该真空腔外的一介质源连通，该介质源通过独立地控制每个波纹管中的介质压强使各个波纹管进行伸缩。
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