[发明专利]一种载板回收控制方法、系统及一种薄膜沉积设备、方法

摘要

本发明提供了一种载板回收控制方法及系统，以解决载板回收效率低的问题。所述方法包括：将载板回收划分为三个控制部分，分别是装载台的升降、卸载台的升降和卸载台到装载台的传输；对于卸载台到装载台的传输，通过构建状态机进行控制，包括：在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择状态点，并以所选状态点将卸载台到装载台的传输划分为多个状态，每个状态在满足传输条件时执行相应的传输动作，并向另一个状态转换；各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。本发明充分考虑了载板回收系统可以并行运行的全部动作，大大提高了载板回收的效率，进而提高了设备生产率。此外，本发明还提供了一种薄膜沉积设备及薄膜沉积方法。

主权项

一种载板回收控制方法，其特征在于，包括：将载板回收划分为三个控制部分，分别是装载台的升降、卸载台的升降和卸载台到装载台的传输；对于卸载台到装载台的传输，根据所有可同时执行的传输动作构建状态机进行控制，包括以下步骤：在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择状态点，并以所选状态点将卸载台到装载台的传输划分为多个状态，每个状态在满足传输条件时执行相应的传输动作，并向另一个状态转换；各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。