[发明专利]电涡流金属膜厚度终点检测装置

摘要

电涡流金属膜厚度终点检测装置，属于集成电路化学机械抛光工艺设备技术领域。该装置包括电涡流传感器、导电滑环、导电定环、多频信号发生单元、前置电路以及含有数据处理与控制程序的计算控制单元。电涡流传感器安装在抛光机的抛光台内且与工件对应的抛光垫下方的一个阶梯孔内，该电涡流传感器包括线圈、壳体和压紧螺母。多频信号发生器为电涡流传感器提供激励信号；因金属膜厚度变化引起的电涡流传感器的电感变化信号经前置电路、导电滑环和导电定环输入到计算控制单元。本发明可克服由振动引起的提离值变化对终点检测的影响，提供准确的终点检测；同时电涡流传感器安装拆卸方便，且可解决因电涡流传感器的安装间隙所引起的抛光液的渗漏问题。

主权项

一种电涡流金属膜厚度终点检测装置，其特征在于：该装置包括电涡流传感器、多频信号发生器、导电滑环、导电定环、前置电路以及含有数据处理与控制程序的计算控制单元；所述的电涡流传感器安装在抛光机的抛光台内且与工件对应的抛光垫下方的一个阶梯孔内，电涡流传感器括线圈、壳体和压紧螺母，壳体为一个空心的阶梯轴，所述的线圈安装在阶梯轴顶部，压紧螺母设置在抛光台的上表面和阶梯轴的上轴肩之间，压紧螺母的内孔与阶梯轴配合，并通过外螺纹与抛光台连接；所述的多频信号发生器通过双芯屏蔽数据线经前置电路、导电滑环和导电定环与电涡流传感器连接，为电涡流传感器提供激励信号；因金属膜厚度变化引起的电涡流传感器的电感变化信号通过双芯屏蔽数据线经前置电路、导电滑环和导电定环输入到计算控制单元；当晶圆表面的金属膜厚到达终点厚度值时，该装置控制抛光机停止抛光。