[发明专利]树脂密封型电子元器件的制造方法及树脂密封型电子元器件的集合体有效
申请号: | 201010237850.5 | 申请日: | 2010-07-20 |
公开(公告)号: | CN101964312A | 公开(公告)日: | 2011-02-02 |
发明(设计)人: | 田中浩二 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L23/16 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张鑫;胡烨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种树脂密封型电子元器件的制造方法及树脂密封型电子元器件的集合体,提高母基板与树脂片材等树脂层之间的密接性,防止母基板与树脂层的剥离。该树脂密封型电子元器件的制造方法包括:第一工序,准备母基板,该母基板具备集合多个子基板而成的子基板区域和设于所述子基板区域周围的边缘区域,并且在所述边缘区域具有识别标记;第二工序,在所述子基板区域上装载表面安装元器件;第三工序,设置半固化状态的树脂层,使其覆盖所述表面安装元器件;第四工序,使所述树脂层固化;以及第五工序,基于所述识别标记分割所述母基板,取出所述表面安装元器件被树脂密封的子基板,该树脂密封型电子元器件的制造方法中,所述第二工序在所述边缘区域中设置比所述识别标记更靠近子基板区域的突起物,所述第三工序设置所述树脂层,使其也覆盖所述突起物。 | ||
搜索关键词: | 树脂 密封 电子元器件 制造 方法 集合体 | ||
【主权项】:
一种树脂密封型电子元器件的制造方法,其特征在于,包括:第一工序,准备母基板,该母基板具备集合多个子基板而成的子基板区域和设于所述子基板区域周围的边缘区域,并且在所述边缘区域中具有识别标记;第二工序,在所述子基板区域上装载表面安装元器件;第三工序,设置半固化状态的树脂层,使其覆盖所述表面安装元器件;第四工序,使所述树脂层固化;以及第五工序,基于所述识别标记分割所述母基板,取出所述表面安装元器件被树脂密封的子基板,该树脂密封型电子元器件的制造方法中,所述第二工序中,在所述边缘区域中设置比所述识别标记更靠近子基板区域的突起物,所述第三工序中,设置所述树脂层,使其也覆盖所述突起物。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造