[发明专利]对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法有效
申请号: | 201010238223.3 | 申请日: | 2010-07-28 |
公开(公告)号: | CN101973072A | 公开(公告)日: | 2011-02-16 |
发明(设计)人: | 贺洁 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及硅锭后续加工技术领域,特别是一种对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法。该方法具有如下工艺步骤:A.将多晶硅锭固定于截断设备上,截除多晶硅锭顶部的杂质层;B.从硅锭上截除出硅锭的顶部低少子寿命部分和底部低少子寿命部分;C.将硅锭固定于开方机台,对硅锭进行开方,并截除硅锭四周的杂质层;D.开方得到的硅块,经过清洗检测后便是可用于切片的成品硅棒。该方法少子寿命检测及低少子寿命层截除工序少、加工成本低,有利于提高产能。 | ||
搜索关键词: | 多晶 进行 加工 用于 切片 方法 | ||
【主权项】:
一种对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法,其特征是:具有如下工艺步骤:A.将多晶硅锭固定于截断设备上,截除多晶硅锭顶部的杂质层;B.从硅锭上截除出硅锭的顶部低少子寿命部分和底部低少子寿命部分;C.将硅锭固定于开方机台,对硅锭进行开方,并截除硅锭四周的杂质层;D.开方得到的硅块,经过清洗检测后便是可用于切片的成品硅棒。
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