[发明专利]基板研磨设备和使用其研磨基板的方法

摘要

本发明提供了一种包括研磨单元和垫支撑部件的基板研磨设备。研磨单元包括位于基板支撑部件上的研磨垫研磨基板和移动研磨垫的垫驱动部件。垫支撑部件布置于基板支撑部件的一侧，当研磨位于基板支撑部件上的基板的边缘时，垫支撑部件支撑研磨垫的不接触基板的研磨表面的部分。因此，基板研磨设备避免了研磨垫在研磨基板的边缘的同时倾向基板的外侧，从而在研磨处理期间，提高了研磨效率并避免了基板的破损。

主权项

一种基板研磨设备，其包括：基板支撑部件，其上面置有基板；研磨单元，其包括研磨垫和垫驱动部件，所述研磨垫布置于所述基板支撑部件上方，以研磨置于所述基板支撑部件上的所述基板，所述垫驱动部件用于移动所述研磨垫，以改变所述研磨垫相对于所述基板支撑部件的位置；以及至少一个垫支撑部件，其布置于所述基板支撑部件的一侧，当研磨位于所述基板支撑部件上的所述基板的边缘时，所述垫支撑部件支撑所述研磨垫的不与所述基板接触的研磨表面的部分。