[发明专利]一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种以碳化钽包覆钽丝为催化剂用于热丝化学气相沉积制备硅薄膜的方法。将此热丝催化剂用于硅薄膜的制备，催化剂表面的碳化钽层得到了很好的保持，没有观测到硅化物的生成，即表现出很好的抗老化性能，具有明显延长热丝催化剂使用寿命的潜力。本催化剂制备方法简单，条件易于控制，适用于热丝化学气相沉积制备各种晶化度的本征、掺杂及化合物硅薄膜。

主权项

一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法，其特征在于，采用热丝化学气相沉积装置，以碳化钽包覆钽丝为催化剂，通过热丝化学气相沉积过程制备硅薄膜。