[发明专利]多晶硅棒的裂纹产生方法和裂纹产生装置有效
| 申请号： | 201010239811.9 | 申请日： | 2010-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN101985226A | 公开（公告）日： | 2011-03-16 |
| 发明（设计）人： | 林田周平 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B02C19/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张雨;杨楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅棒的裂纹产生方法及裂纹产生装置。多晶硅棒的裂纹产生方法在对多晶硅棒加热后进行急冷，由此产生裂纹，其特征在于，该方法具有将冷却流体喷射到上述多晶硅棒的表面的一部分以在其表面成为点状的局部冷却工序。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 裂纹 产生 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅棒的裂纹产生方法，其在对多晶硅棒加热后进行急冷，由此产生裂纹，其特征在于，该方法具有将冷却流体喷射到上述多晶硅棒的表面的一部分以在其表面成为点状的局部冷却工序。
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