[发明专利]瑕疵检测系统及方法有效
| 申请号： | 201010240499.5 | 申请日： | 2010-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN102346171A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 苏瑞尧;钟裕亮;王俊杰;吴建峰;刘彦辰 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N29/04 | 分类号： | G01N29/04;G01N29/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用以检测晶硅产品的瑕疵检测系统及方法，其由微振动激发装置微振动经固定的晶硅产品，以使该晶硅产品产生激发信号；接着，利用撷取装置撷取该激发信号，以令分析检测装置通过特定的分析法对该撷取装置所撷取的激发信号进行时频分析进而得到分析结果；最后，依据该分析结果检测出该晶硅产品的瑕疵状态。 | ||
| 搜索关键词： | 瑕疵 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种瑕疵检测方法，用以检测晶硅产品，包括以下步骤：(1)令该晶硅产品产生微振动以发出激发信号；(2)撷取该该晶硅产品所发出的激发信号；以及(3)通过特定的分析法对所撷取的该激发信号进行时频分析，以得到分析结果。
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