[发明专利]真空保护阀有效
| 申请号： | 201010241623.X | 申请日： | 2010-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN102345759A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 覃峰;陈勇辉;聂宏飞;赵滨;于文忠;李其涛 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/126 | 分类号： | F16K31/126;F16K17/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种真空保护阀，包括：上阀体401；下阀体403，与所述上阀体套合；调节螺栓404，与所述下阀体403连接；阀芯407，置于所述下阀体401中，并与所述调节螺栓404套合；活动阀座408，置于所述下阀体403中，并与所述阀芯407抵接；传动杆410，置于所述上阀体401和所述活动阀座408中，并与所述阀芯407抵接；感压腔412，连接于所述上阀体401，并与所述传动杆410抵接。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 保护 | ||
【主权项】：
一种真空保护阀，其特征在于，包括：上阀体；下阀体，与所述上阀体套合；调节螺栓，与所述下阀体连接；阀芯，置于所述下阀体中，并与所述调节螺栓套合；活动阀座，置于所述下阀体中，并与所述阀芯抵接；传动杆，置于所述上阀体和所述活动阀座中，并与所述阀芯抵接；感压腔，连接于所述上阀体，并与所述传动杆抵接。
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