[发明专利]压电振动器、电压振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟无效
| 申请号： | 201010244271.3 | 申请日： | 2010-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101964638A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 福田纯也 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/19;G04C9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;徐予红 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电振动器(1)，其中包括：基底基板(2)及盖基板(3)，以在基底基板(2)与盖基板(3)之间形成空腔(C)的方式叠合；压电振动片(4)，收容于空腔内并与基底基板一侧接合；吸气材料(34)，以收容于空腔内的方式形成于基底基板；以及接合膜(35)，形成在盖基板中朝向基底基板一侧的整个面上，并在与基底基板接触的部分接合两基板，接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成。从而可确保空腔内的真空度，且有效率地进行制造。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动器 电压 制造 方法 振荡器 电子设备 电波 | ||
【主权项】：
一种压电振动器，其特征在于包括：基底基板及盖基板，以在该基底基板与盖基板之间形成空腔的方式叠合；压电振动片，收容于所述空腔内并与所述基底基板一侧接合；吸气材料，以收容于所述空腔内的方式形成在所述基底基板；以及接合膜，形成在所述盖基板中朝向所述基底基板一侧的整个面，并在与所述基底基板接触的部分接合两基板，所述接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成。
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