[发明专利]一种高压发生器校准方法有效
| 申请号： | 201010244345.3 | 申请日： | 2010-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN101965093A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 陈小强 | 申请（专利权）人： | 深圳市蓝韵实业有限公司 |
| 主分类号： | H05G1/10 | 分类号： | H05G1/10;H05G1/20;H02M7/537 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518034 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高压发生器校准方法，包括步骤：A1、测量高压发生器反馈分压电阻的实际阻值及串联电阻的实际阻值；A2、计算反馈误差；A3、根据所述反馈误差和高压发生器放大参考值对高压发生器曝光过程进行控制。本发明高压发生器校准方法通过软件方法对高压发生器坦克串联电阻引至的反馈误差进行自动校准，校准步骤简单，容易操作，校准时间短，并且不需要使用专门的仪器，出错概率低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压发生器 校准 方法 | ||
【主权项】：
一种高压发生器校准方法，其特征在于，包括步骤：A1、测量高压发生器反馈分压电阻的实际阻值及串联电阻的实际阻值；A2、计算反馈误差；A3、根据所述反馈误差和高压发生器放大参考值对高压发生器曝光过程进行控制。
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