[发明专利]一种基于光子晶体空气桥结构的慢光波导结构有效
| 申请号： | 201010251511.2 | 申请日： | 2010-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101963736A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 张冶金;郑婉华;渠红伟;陈良惠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02F1/365 | 分类号： | G02F1/365;G02F1/355;G02B6/122 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光子晶体空气桥结构的慢光波导结构，该慢光波导结构采用线缺陷光子晶体结构，包括纵向结构及横向结构，纵向结构为空气桥多层结构，从顶层到底层依次为空气层/半导体材料层/空气层/衬底材料层，横向结构采用三角晶格结构，周期为P，半径为R，通过去掉一行孔形成波导。本发明通过变化线缺陷临近孔的大小，实现高达50纳米的慢光工作区，中心波长可以通过波导宽度来调节，在上百纳米的工作波长要求范围内只需要两种孔径的小孔就可实现，可降低满足某一工艺条件的器件参数调整要求。利用本发明提供的基于光子晶体空气桥结构的慢光波导结构的慢光光子晶体波导，其带宽可覆盖光纤通信C波段，高达50nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光子 晶体 空气 结构 波导 | ||
【主权项】：
一种基于光子晶体空气桥结构的慢光波导结构，其特征在于，该慢光波导结构采用线缺陷光子晶体结构，包括纵向结构及横向结构，纵向结构为空气桥多层结构，从顶层到底层依次为空气层/半导体材料层/空气层/衬底材料层，横向结构采用三角晶格结构，周期为P，半径为R，通过去掉一行孔形成波导。
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