[发明专利]制备金刚石膜的张丝结构

摘要

本发明公开一种制备金刚石膜的张丝结构，克服现有技术无法独立调节每一根热丝张紧的不足和热丝由于电流波动造成的振动，提供一种可自动对每根热丝独立张紧精细调节的装置，包括设在底座上的左、右两块绝缘板和钼条制成的左、右两个电极，两绝缘板之间设有热丝装置，它包括一组按“之”字形多重转折排列的热丝，热丝的左右各转折处分别钩挂在与左或右绝缘板连接的左右两组弹性挂钩上，挂钩上设有导向限位结构；热丝的所有转折处各用一个钩状电极与钼条制成的左右两个电极之一实现电连接。本发明可自动对热丝进行单独精细的张紧调节；可保证各段热丝在金刚石整个生长过程中不下垂且处在同一平面，张紧力均衡，全过程自动补偿张紧。

主权项

一种制备金刚石膜的张丝结构，包括分别设置在底座上的左、右两块绝缘板和用钼条制成的左、右两个电极，在两绝缘板之间设有热丝装置，其特征是，所述热丝装置包括一组按之字形多重转折排列的热丝，热丝的左侧或右侧各转折处分别对应钩挂连接在与左或右绝缘板连接的具有弹性的左或右两组挂钩上，所述挂钩上设有导向作用的限位结构；热丝的所有转折处各利用一个钩状电极与所述钼条制成的左或右两个电极之一实现电连接。