[发明专利]压印光刻设备和方法

摘要

本发明公开了一种压印光刻装置和方法。具体地，所述方法用于通过使用具有图案化表面的压印模具在衬底上由紫外线可固化的可压印液体介质形成图案化层。所述方法包括：将所述图案化表面与紫外线可固化介质放在一起并持续一填充时间段，用紫外辐射照射所述紫外线可固化的可压印液体介质并持续一照射时间段，将所述图案化表面和所述紫外线可固化的可压印液体介质保持在一起并持续一保持时间段、使得紫外线可固化介质形成自支撑图案化层，和在所述保持时间段结束时将所述图案化表面和所述图案化层分开。照射时间段的开始时刻比所述填充时间段的结束时刻早一预固化时间段。此外，公开一种方法，其中照射时间段的结束时刻比保持时间段的结束时刻早。

主权项

一种压印光刻方法，用于通过使用具有包括凹陷的图案化表面的压印模具在衬底上由紫外线可固化的可压印液体介质形成图案化层，所述方法包括步骤：将所述图案化表面与作为未固化的可流动的液体的紫外线可固化的可压印液体介质放在一起并持续一填充时间段，所述填充时间段具有所述图案化表面开始接触所述紫外线可固化的可压印液体介质的开始时刻和所述紫外线可固化的可压印液体介质基本上填充在所述图案化表面中的所述凹陷内的结束时刻；用紫外辐射照射所述紫外线可固化的可压印液体介质并持续一照射时间段，所述照射时间段具有开始时刻和结束时刻；将所述图案化表面和所述紫外线可固化的可压印液体介质保持在一起并持续一具有开始时刻和结束时刻的保持时间段，所述保持时间段的所述开始时刻在所述填充时间段的所述结束时刻处开始，并且所述保持时间段的所述结束时刻被选定成提供所述紫外线可固化的可压印液体介质的充分固化、以形成自支撑图案化层；和在所述保持时间段的所述结束时刻将所述图案化表面和所述图案化层分开，其中所述照射时间段的所述开始时刻比所述填充时间段的所述结束时刻早一预固化时间段。