[发明专利]平版印刷方法有效
| 申请号： | 201010253910.2 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101943860A | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | D·王;G·G·巴克利;T·A·埃斯戴尔;K·J·斯皮祖科;D·康 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/30;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了新型平板处理方法，在浸没平版印刷体系中特别有用。一方面，本发明的处理方法包括：在基底上应用光致抗蚀剂组合物；将所述光致抗蚀剂层在辐射下曝光激活光致抗蚀剂组合物；除去部分但非全部曝光的光致抗蚀剂层；和将处理后的光致抗蚀剂层显影得到光致抗蚀起伏图象。 | ||
| 搜索关键词： | 平版印刷 方法 | ||
【主权项】：
一种处理光致抗蚀剂组合物的方法，所述方法包括：(a)在基底上施加光致抗蚀剂组合物；(b)将所述光致抗蚀剂层在辐射下浸没曝光以激活光致抗蚀剂组合物；(c)调节所述曝光的光致抗蚀剂层的水接触角；和(d)将处理后的光致抗蚀剂层显影得到光致抗蚀浮雕图象。
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