[发明专利]一种工作台位置测量系统无效
| 申请号： | 201010256215.1 | 申请日： | 2010-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN102375343A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 齐芊枫;郑椰琴;吴立伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/00;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工作台位置测量系统包括：镜头、主基板、承片台、大理石、至少一光栅尺组、以及与该光栅尺组相对应的至少一读头组，该镜头固定在主基板上，读头组合成一读头集，且该读头集安装在主基板上，光栅尺组固定在承片台的四周，承片台安装在大理石上并在大理石表面运动，读头组通过读头组与光栅尺组的相对运动读取运动信息，通过镜头采集该读头集的读数，得到该承片台在大理石表面的运动信息。该工作台位置测量系统，可稳定有效而且高精度的测量工作台的运动，工作台位置测量系统集成度较高，相对独立和完整，受其他分系统维修维护的影响较小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工作台 位置 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种工作台位置测量系统，其特征在于，所述工作台位置测量系统包括：一镜头、一主基板、一承片台、一大理石、至少一光栅尺组、以及与该光栅尺组相对应的至少一读头组，所述镜头固定在所述主基板上，并且镜头靠近所述光栅尺组的一端内陷于所述主基板，镜头远离所述光栅尺组的一端外露于所述主基板，所述读头组合成一读头集，所述读头集安装在主基板上，所述光栅尺组固定在所述承片台的四周，所述承片台安装在所述大理石上并在所述大理石表面运动。
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