[发明专利]对准衬底的方法

摘要

本发明提供一种对准衬底结合设备的第一衬底与第二衬底的方法，所述衬底结合设备包含用于对准各自包括多个对准标记的所述第一衬底与所述第二衬底的对准单元。所述第一衬底的所述多个对准标记中的一个与所述第二衬底的所述多个对准标记中的对应者被定义成一对对准标记。所述方法包含减少多个未对准值中的最大未对准值以便对准所述第一衬底与所述第二衬底，每一未对准值是从每一对对准标记获得。通过算术运算，搜索X、Y和θ方向上使多对对准标记的未对准值皆落在容许范围内的虚拟移动算术值，且将所述衬底移动到所述虚拟移动算术值。这样，可通过移动所述衬底一次而无需移动多次来使所述衬底对准。因此，可缩短对准所述衬底所需的时间。

主权项

一种对准衬底结合设备的第一衬底与第二衬底的方法，所述衬底结合设备包含用于对准各自包括多个对准标记的所述第一衬底与所述第二衬底的对准单元，其特征在于，所述第一衬底的所述多个对准标记中的一个与所述第二衬底的所述多个对准标记中的对应者被定义成一对对准标记，所述方法包括减少多个未对准值中的最大未对准值以便对准所述第一衬底与所述第二衬底，每一未对准值是从每一对对准标记获得。