[发明专利]可动光学元件调节驱动装置有效
| 申请号： | 201010256236.3 | 申请日： | 2010-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN102375345A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 陈明杰;王洪尊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可动光学元件调节驱动装置，包括：主躯干；第一及第二饶性安装座，分别设置于所述主躯干的两端；第一及第二饶性安装座固定块固定于所述主躯干两端的侧面，以限制所述第一及第二饶性安装座上下移动；第一及第二调整螺钉分别通过所述主躯干上的螺纹孔连接到所述第一及第二饶性安装座；驱动机构，固定在所述第一及第二饶性安装座之间；变形块，连接于所述主躯干的一端。其具有低滞后性、承重能力强、重复性稳定性好、精度极高(可以达到纳米级)、维修方便等优点，同时行程较大、结构简单，加工难度低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 调节 驱动 装置 | ||
【主权项】：
一种可动光学元件调节驱动装置，其特征在于，包括：主躯干；第一及第二饶性安装座，分别设置于所述主躯干的两端；第一及第二饶性安装座固定块固定于所述主躯干两端的侧面，以限制所述第一及第二饶性安装座上下移动；第一及第二调整螺钉分别通过所述主躯干上的螺纹孔连接到所述第一及第二饶性安装座；驱动机构，固定在所述第一及第二饶性安装座之间；变形块，连接于所述主躯干的一端。
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