[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置，其可防止沿从喷嘴喷射出的液柱照射的激光光线的折射。该激光加工装置具备：卡盘工作台，其保持被加工物；激光光线照射构件，其对保持于卡盘工作台的被加工物照射激光光线；以及加工进给构件，其使卡盘工作台和激光光线照射构件相对地进行加工进给，激光光线照射构件包括激光光线振荡构件和具有使从激光光线振荡构件振荡出的激光光线会聚的聚光透镜的加工头，加工头具备：液柱形成机构，其具有沿通过聚光透镜而会聚的激光光线的光轴喷出液体的喷嘴；以及水滴抽吸机构，其配设在液柱形成机构的下侧，并具有贯通通道和环状抽吸口，从喷嘴喷射出的液柱通过贯通通道，环状抽吸口围绕该贯通通道地形成，并与抽吸构件连通。

主权项

一种激光加工装置，该激光加工装置具备：卡盘工作台，其保持被加工物；激光光线照射构件，其对保持于所述卡盘工作台的被加工物照射激光光线；以及加工进给构件，其使所述卡盘工作台和所述激光光线照射构件相对地进行加工进给，所述激光光线照射构件具备激光光线振荡构件和加工头，所述加工头具有使从所述激光光线振荡构件振荡出的激光光线会聚的聚光透镜，所述激光加工装置的特征在于，所述加工头具备：液柱形成机构，其具有喷嘴，该喷嘴沿着通过所述聚光透镜而会聚了的激光光线的光轴喷出液体；以及水滴抽吸机构，其配设在所述液柱形成机构的下侧，并具有贯通通道和环状抽吸口，从所述喷嘴喷射出的液柱从所述贯通通道通过，所述环状抽吸口围绕所述贯通通道地形成，并与抽吸构件连通。