[发明专利]有助于增进气体与汽化材料接触的方法和装置有效
| 申请号： | 201010259171.8 | 申请日： | 2005-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN101905126A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 约翰·格雷格;斯科特·巴特尔;杰弗里·I·邦东;唐·奈托;拉维·K·拉克斯曼 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | B01F3/04 | 分类号： | B01F3/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于汽化和递送汽化源材料的汽化器，所述汽化器包括：容器，包括至少一个限定内部的容器壁；以及设置在至少与所述内部接触的间歇流体的气体入口和气体出口，所述气体入口适合于向所述内部供应第一气体；至少一个支撑物，包括设置于所述内部的支撑表面，其中所述支撑表面适合于在所述内部或在所述内部沿所述第一气体的流程支撑可汽化源材料，以及其中所述至少一个支撑表面以至少一个壁分隔成两个或更多个支撑可汽化源材料的离散区域。 | ||
| 搜索关键词： | 有助于 增进 气体 汽化 材料 接触 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于汽化和递送汽化源材料的汽化器，所述汽化器包括：容器，包括至少一个限定内部的容器壁；以及设置在至少与所述内部接触的间歇流体的气体入口和气体出口，所述气体入口适合于向所述内部供应第一气体；以及至少一个支撑物，包括设置于所述内部的支撑表面，其中所述支撑表面适合于在所述内部或在所述内部沿所述第一气体的流程支撑可汽化源材料，以及其中所述至少一个支撑表面被至少一个壁分隔成两个或更多个支撑可汽化源材料的离散区域。
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