[发明专利]单晶棒破方方法

摘要

本发明实施例公开了一种单晶棒破方方法，包括：步骤1：向浆料缸中打入冷却液，将单晶棒安装在工作台的底座上；步骤2：将金刚石钢线安装于所述工作台上的放线轴上以低张力值进行走线形成线网，设置好高线位及低线位后以高张力值进行走线；步骤3：将固定好的单晶棒的底座装入机床，并调整所述底座的位置使四周边料切割厚度相等，下降工作台，底部线网差1mm接触单晶段表面最高点，并设置为零点；步骤4：关闭所有滑动门，设置切割参数开始切割，所述切割参数包括：工作台速度、线速度、流量、回线率和张力。本发明中的实施例通过采用金刚石钢线进行切割提高破方的生产效率，且本工艺中金刚石钢线的用量较低，制造成本降低了。

主权项

一种单晶棒破方方法，其特征在于，包括：步骤1：向浆料缸中打入冷却液，将单晶棒安装在工作台的底座上；步骤2：将金刚石钢线安装于所述工作台的放线轴上以低张力值进行走线形成线网，设置好高线位及低线位后以高张力值进行走线；步骤3：将固定好的单晶棒的底座装入机床，并调整所述底座的位置使四周边料切割厚度相等，下降工作台，底部线网差1mm接触硅锭表面最高点，并设置为零点；步骤4：关闭所有滑动门，设置切割参数开始切割，所述切割参数包括：工作台速度、线速度、流量、张力和回线率。