[发明专利]显影工艺的检测版图以及显影工艺的检测方法有效
| 申请号： | 201010261631.0 | 申请日： | 2010-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102375350A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 张轲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种显影工艺的检测版图以及显影工艺的检测方法，该显影工艺的检测版图用于检测显影工艺的显影液流量，所述检测版图包括至少一组检测图案，所述检测图案包括多个线条图形。利用所述检测版图可快速、准确的检测出显影工艺的显影液流量是否符合工艺要求，显影设备无需处于维护状态即可进行检测，提高了设备的产能，并有利于提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 工艺 检测 版图 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种显影工艺的检测版图，用于检测显影工艺的显影液流量，所述检测版图包括至少一组检测图案，所述检测图案包括多个线条图形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010261631.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具插卡控制的电脑输入装置
- 下一篇：钻孔电视成像仪井下探头多功能保护器
