[发明专利]纪念币模具表面制备氮化钽涂层的工艺方法有效
| 申请号： | 201010261685.7 | 申请日： | 2010-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN102373471A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 刘迪;刘志刚;赖茂明;康今哲;朱慕平;唐光泽;张吉刚;孙志国;马麟 | 申请（专利权）人： | 中国印钞造币总公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04 |
| 代理公司： | 辽宁沈阳国兴专利代理有限公司 21100 | 代理人： | 李丛 |
| 地址： | 100044 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种纪念币模具表面制备氮化钽涂层的工艺方法，属于纪念币模具表面强化延寿技术。其工艺步骤为：①对模具进行氮等离子体基离子注入表面处理；②通过加热将模具温度升至200-300℃之间；③采用磁控溅射在模具表面沉积一层钽膜；④对钽膜进行氮等离子体基离子注入处理，形成氮化钽层；⑤反复进行步骤③和④直至获得预定厚度的氮化钽涂层。本发明具有生产过程无污染排放，不改变模具表面光洁度、尺寸精度和可以低温沉积的优点。并且延长了模具的使用寿命，提高了模具的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 纪念币 模具 表面 制备 氮化 涂层 工艺 方法 | ||
【主权项】：
纪念币模具表面制备氮化钽涂层的工艺方法，其特征在于包括下述步骤：①对模具进行氮等离子体基离子注入表面处理，采用气体为纯度99.999％高纯氮气，用射频激发氮等离子体，注入电压为60kV，注入剂量为3×1017‑5×1017离子/cm2；②将上述表面处理过的模具进行加热，使模具温度升至200‑300℃；③对上述升温后的模具，采用磁控溅射在模具表面沉积一层厚度为30‑100nm钽膜；④对上述钽膜进行等离子体基离子注入处理，形成氮化钽层，注入电压为45‑60kV，注入剂量为0.5×1017‑1×1017离子/cm2；⑤反复进行上述步骤③和步骤④，直至获得厚度为1‑2μm的氮化钽涂层。
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